海德堡激光直写系统

VPG1600激光直写系统

新型 Volume High Generator (VPG) 大尺寸图形发生器，是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用独家专利技术 "宽阔的平行化曝光制程技术 "而开发出来的。

VPG800激光直写系统

新型 Volume High Generator (VPG) 大尺寸图形发生器，是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用独家专利技术 "宽阔的平行化曝光制程技术 "而开发出来的。

DWL 8000激光直写系统

DWL 8000 精确的温度控制、动态的焦点追踪、closed loop 位置决定，确保完美布置和完全覆盖性的直写范围。搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中，也可以瞄写 2维和 3维图形新的 DWL 8000 系列，是针对微光学领域的2维和 3维的微构造形式所制作。

DWL 4000激光直写系统

DWL 4000 产品线包括两种模式，DWL 4000DD 和可处理更高效能的 DWL 4000FBM。此系统可适用于客制化的激光设备，几乎任何光阻剂都可曝光。让您的制版作业更加得心应手，激光功率不再是您需要担忧的问题。

DWL 2000激光直写系统

高速、高灵活度，可自动加载基板，也可装载部分其它系统DWL2000 激光掩模板绘图机高速且灵活的机台；在制作掩模板和无掩模激光直写上拥有高分辨率模组生成程序。直写范围可达 200 mm × 200 mm2。

DWL 66+激光直写系统

研究开发用的激光无掩模直写制程系统：DWL 66+ 以低价格实现高分辨率，能于立体构造上进行 3维的绘画方式。DWL 66+ 适用于掩模板的试制和直接进行描写的研究开发。低价格且高分辨率的激光图形直写系统。最大基板尺寸为 9" × 9"，最小绘画尺寸 0.6μm 。能作出复杂的立体构造进行 3维的绘画。 DWL 66+ 的基本顾客，包括全球超过 150 家以上的顶尖大学和研究机构。