1.  IMPRESS 213/224 深紫外纳秒固体激光器

IMPRESS 213是高重频二极管泵浦Q开关固体激光器。优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工，如半导体或显示器修复。其极短的波长适合于直接刻写应用。

典型参数

型       号	IMPRESS 213/224
波       长	213/224 nm
平均功率	150/300 mW
脉       宽	< 7/9 ns
脉冲能量	>15/30 µJ
重复频率	0.1-30 kHz
M2  因子	< 1.6

应 用

l 光纤布拉格光栅刻写

l 波长敏感加工

l 立体光刻

l 显示器修复

l 微细加工

l 半导体检测

l 倍频氩离子激光器替换

l 光致发光测量

优异的FBG刻写性能

l 超快刻写速度

l 无需预载氢

l 高重频刻写光纤光栅质量更高

l 超低运行与维护成本，体积小

2.  IXION-193 纳秒固体激光器

IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。

光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精确光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。

典型参数

型    号	IXION-193 SLM
波    长	193.368 nm
平均功率	>10 mW
脉    宽	< 10 ns
脉冲能量	>1.6 µJ
重复频率	6 kHz
M2  因子	< 1.6
线    宽	<120MHz; 15 fm; 0.004cm-1
调谐范围	>80GHz; 10 pm; 2.6cm-1
相干长度	1 m

特 点

l 工业级的频率转换，密封封装

l 插槽安装激光二极管泵浦

l 优异的TEM00光束形貌

l 脉冲到脉冲之间波动小

l 免维护与热电温控管理

l LabVIEW驱动

l 内置光谱仪用于波长实时控制

应 用

l 193nm波长计量

l 光谱仪校准

l 干涉测量

l 准分子激光器的种子注入

3. Pixie系列皮秒锁模固体激光器

典型参数

Model                   Pixie           Pixie-S         Pixie-T

wavelength          1342 nm     671 nm         447 nm

average power    1.8 W          0.7 W           0.5 W

pulse duration      < 6 ps         < 6 ps          < 6 ps

energy per pulse   12 nJ         4.5 nJ           3.5 nJ

repetition rate      143 MHz    143 MHz     143 MHz

M2                          < 1.3          < 1.3            < 1.3

       Applications are e.g. thin film ablation through transparent silicon wafers.

Exceptional advantages are shown for flat-panel display production including processing of OLEDs.

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