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1. IMPRESS 213/224 深紫外纳秒固体激光器
IMPRESS 213是高重频二极管泵浦Q开关固体激光器。优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工,如半导体或显示器修复。其极短的波长适合于直接刻写应用。
典型参数
型 号 | IMPRESS 213/224 |
波 长 | 213/224 nm |
平均功率 | 150/300 mW |
脉 宽 | < 7/9 ns |
脉冲能量 | >15/30 µJ |
重复频率 | 0.1-30 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
应 用
l 光纤布拉格光栅刻写
l 波长敏感加工
l 立体光刻
l 显示器修复
l 微细加工
l 半导体检测
l 倍频氩离子激光器替换
l 光致发光测量
优异的FBG刻写性能
l 超快刻写速度
l 无需预载氢
l 高重频刻写光纤光栅质量更高
l 超低运行与维护成本,体积小
2. IXION-193 纳秒固体激光器
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。
光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精确光谱仪,精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。
典型参数
型 号 | IXION-193 SLM |
波 长 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脉 宽 | < 10 ns |
脉冲能量 | >1.6 µJ |
重复频率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
线 宽 | <120MHz; 15 fm; 0.004cm-1 |
调谐范围 | >80GHz; 10 pm; 2.6cm-1 |
相干长度 | 1 m |
特 点
l 工业级的频率转换,密封封装
l 插槽安装激光二极管泵浦
l 优异的TEM00光束形貌
l 脉冲到脉冲之间波动小
l 免维护与热电温控管理
l LabVIEW驱动
l 内置光谱仪用于波长实时控制
应 用
l 193nm波长计量
l 光谱仪校准
l 干涉测量
l 准分子激光器的种子注入
3. Pixie系列皮秒锁模固体激光器
典型参数
Model Pixie Pixie-S Pixie-T
wavelength 1342 nm 671 nm 447 nm
average power 1.8 W 0.7 W 0.5 W
pulse duration < 6 ps < 6 ps < 6 ps
energy per pulse 12 nJ 4.5 nJ 3.5 nJ
repetition rate 143 MHz 143 MHz 143 MHz
M2 < 1.3 < 1.3 < 1.3
Applications are e.g. thin film ablation through transparent silicon wafers.
Exceptional advantages are shown for flat-panel display production including processing of OLEDs.
Xiton 产品分类: ![]() | IMPACT Series二极管泵浦纳秒固体激光器IMPACT系列工业级高重频二极管泵浦纳秒固体激光器拥有1064nm基频波长,为实现短脉冲和高输出功率,采用了谐振+放大的配置,并可高效地转换成TEM00模式的532nm绿光和355nm紫光输出。 优异的光束质量(M2<1.2),脉宽<10ns的短脉冲,重复频率高达100kHz。脉冲到脉冲间高稳定性(σ<2%)及密封封装能很好地满足工业应用要求。激光头不带热沉及风冷,激光系统通过RS-232接口完全由电脑控制运行,可接受不同的触发控制模式。 | |
![]() | IDOL Series二极管泵浦纳秒固体激光器IDOL系列工业级高重频二极管泵浦纳秒固体激光器拥有独特的1342nm基频波长,并可转换成TEM00模式671nm和447nm优异光束质量(M2<1.2)、重复频率高达100kHz、脉宽<12ns的短脉冲输出。其σ<2%脉冲到脉冲间高稳定性及密封封装能很好地满足工业应用要求。激光头不带热沉及风冷,系统通过RS-232接口完全由电脑控制运行,可接受不同的触发控制模式。 | |
![]() | Pixie系列皮秒固体激光器首款1342/671/447nm波长工业级皮秒固体激光器。频率可转换升级为红光和蓝光输出。 为24/7工业应用要Pixie系列皮秒固体激光器求而设计。专利的锁模技术确保长使用寿命,极大的减小了用户使用总成本。 超短激光脉冲可实现精细材料的无热加工。如:透明硅晶片的薄膜消蚀,包括OLEDs加工在内的平板显示器生产等。 | |
![]() | IXION-193 单纵模纳秒固体激光器概 述 IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。 光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精确光谱仪,精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。 | |
![]() | Impress213/224nm深紫外纳秒固体激光器IMPRESS 213/224是高重频二极管泵浦Q开关固体激光器。优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工,如半导体或显示器修复。其极短的波长适合于直接刻写应用。 | |